技術(shù)編號：10907720
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。在顯示器件的制造過程中，由于產(chǎn)品的種類眾多，產(chǎn)品型號大小不一，所使用的掩膜版也各不相同。通常進(jìn)行不同的曝光工藝時，需要切換不同的掩膜版，因此生產(chǎn)中經(jīng)常進(jìn)行掩膜版的搬運(yùn)。發(fā)明人發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)中至少存在如下問題目前，在生產(chǎn)中搬運(yùn)掩膜版都是采用手動直接觸摸搬運(yùn)，掩膜版一般由石英玻璃構(gòu)成，屬于精密備件、易碎品，其表面極容易劃傷或者污染。且掩膜版重量多為20KG以上，手動直接觸摸搬運(yùn)時容易造成1.掩膜版重量過大，容易滑落從而摔碎;2.掩膜版供手動直接觸摸的區(qū)域極小，手...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。