技術編號:10920082
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。在通過將晶體原料熔化成熔體,并使熔體在籽晶的誘導下逐漸定向凝固生長出與籽晶晶格一致的晶體是熔體生長法晶體生長的基本特點。在熔體晶體生長法中,通常通過溫度測量,并將溫度信號反饋為加熱功率輸入以滿足特定的晶體生長環(huán)境;特別是在坩堝下降法等引晶過程無法直接觀察的工藝過程,溫度測量的準確性是保證籽晶部分熔化,實現(xiàn)引晶成功的可靠保證。對于能夠在引晶過程中實時觀察的晶體生長方法,如導膜法和泡生法等,溫度測量的準確性可以保證工藝的穩(wěn)定性,可避免操作人員和工藝調(diào)整技術人員...
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