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      一種硅片切削液回收系統(tǒng)中的油氣分離裝置的制造方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:10925762

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      硅棒切割成硅片時(shí)需要用到切削液,而切削液在使用一定時(shí)間后需要更換,而更換的切削液可以回收再利用,而切削液中包括固體顆粒和切削油,通過壓濾離心后將固體顆粒和切削油分別回收,而回收后的切削油需要和固體顆粒再次在攪拌釜中進(jìn)行混合配比,混合時(shí)一般利用抽風(fēng)機(jī)對攪拌釜進(jìn)行抽風(fēng),而抽出的風(fēng)直接排放到大氣中,然經(jīng)過研究發(fā)現(xiàn),切削油本身具有揮發(fā)性,同時(shí)在攪拌時(shí)切削油也具有一定的溫度,攪拌過程中加速揮發(fā),因此,抽出的空氣含有一定的氣態(tài)的切削油,造成了原料的浪費(fèi),同時(shí)一定程度污...
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