技術(shù)編號(hào):10934750
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。MEMS的英文全稱為Micro-Electro-Mechanical System,中文名稱為微機(jī)電系統(tǒng), 是指尺寸在幾毫米甚至更小的高科技裝置,其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級(jí),是一個(gè)獨(dú)立的智能系統(tǒng)。MEMS技術(shù)因具有微型化、智能化、高度集成化和可批量生產(chǎn)的優(yōu)點(diǎn),已廣泛應(yīng)用于電子、醫(yī)學(xué)、工業(yè)、汽車(chē)和航空航天系統(tǒng)等領(lǐng)域。在電子產(chǎn)品中,MEMS麥克風(fēng)已成為中高端便攜式智能電子設(shè)備的首選,MEMS麥克風(fēng)的核心部件為MEMS芯片,用于聲電轉(zhuǎn)換。MEMS麥克風(fēng)通常...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。