技術(shù)編號：10969255
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。隨著半導(dǎo)體晶圓加工以及集成電路的高集成化及高性能化，為了提高半導(dǎo)體晶圓加工、集成電路板制造，液晶顯示屏生產(chǎn)等各種電子元件的品質(zhì)及產(chǎn)品的成品率。對于生產(chǎn)環(huán)境所需要的潔凈房的要求也越來越高。根據(jù)制造工程清潔房等規(guī)定嚴格實行清潔度管理就變得至關(guān)重要。而如何減少清潔度基準(zhǔn)中塵埃、VOC等化學(xué)物質(zhì)成分也成了很重要的問題。此外，日本平成15年施行的室內(nèi)空氣污染新法(建筑基準(zhǔn)法、同法施行令及同法施行規(guī)則的一部分改正施行)規(guī)定了對于居室內(nèi)化學(xué)物質(zhì)發(fā)散在衛(wèi)生上的措施，標(biāo)示了...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。