技術(shù)編號：10977581
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。對于化學(xué)氣相成膜機臺之Producer機型的跑貨方式，每種工藝過程開始前、過程中及結(jié)束后，機臺都將觸發(fā)相應(yīng)的清潔程式，以將腔體內(nèi)殘留的薄膜清理干凈，再形成一層對應(yīng)的薄膜來穩(wěn)定腔體環(huán)境。通常地，清潔氣體和工藝氣體均由廠務(wù)端供應(yīng)，在進入腔體前按照硬件設(shè)置，經(jīng)過不同的氣體面板進行混合后流入腔體。但是，由于清潔氣體和工藝氣體通過的氣體面板不同，當進行清理程式時，工藝氣體之氣體面板處于負壓狀態(tài)，導(dǎo)致清潔氣體之顆粒物回流至工藝氣體管路，并停留在工藝氣體管路上的過濾器內(nèi)...
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