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      一種基于邁克爾遜干涉原理的復(fù)合干涉絕對(duì)位移測(cè)量裝置的制造方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):10986781

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      各種光學(xué)精密絕對(duì)位移測(cè)量儀已廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)和科研領(lǐng)域。在光學(xué)絕對(duì)距離測(cè)量方面常常需要給測(cè)量裝置找到兩個(gè)標(biāo)定點(diǎn),以確定測(cè)量的起點(diǎn)與終點(diǎn)。在傳統(tǒng)的邁克爾遜干涉儀中,進(jìn)行絕對(duì)距離測(cè)量常常使用低相干光干涉的條紋作為標(biāo)定點(diǎn)。而這兩標(biāo)定點(diǎn)的絕對(duì)距離測(cè)量常由機(jī)械齒輪帶動(dòng)的轉(zhuǎn)盤的累加讀數(shù)的差值確定。而近年來,還出現(xiàn)了由壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器代替機(jī)械傳動(dòng)裝置的改進(jìn)型邁克爾遜干涉儀以進(jìn)行更精密的測(cè)量。其進(jìn)行絕對(duì)距離測(cè)量時(shí),同樣使用低相干光干涉的條紋作為標(biāo)定點(diǎn)。而距離的值則由加在壓電陶...
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