技術(shù)編號(hào)：10994272
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。連續(xù)式真空磁控濺射鍍膜玻璃生產(chǎn)線包括多級(jí)鍍膜室，相鄰鍍膜室之間的氣體隔離是非常重要的結(jié)構(gòu)，一方面是為了防止鍍膜區(qū)氣壓不均而造成氣流竄動(dòng)，另一方面是為阻止相鄰陰極位工藝鍍膜時(shí)工藝氣體和濺射物的互竄而造成污染。邊部氣體隔離組件是氣體隔離的一種，它安裝在相鄰鍍膜室之間的隔板上的基板通道處?，F(xiàn)有的邊部氣體隔離裝置包括一邊部隔離板，該邊部隔離板是通過角鋼與隔板固定連接的，此種結(jié)構(gòu)角鋼和邊部隔離板的高度不好調(diào)節(jié)、安裝困難，同時(shí)隔板上要加工很多螺紋孔，加工量較大。發(fā)明內(nèi)...
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