技術(shù)編號(hào)：11022235
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))是指可批量制作的，集微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號(hào)處理和控制電路、直至接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)，其特征尺寸從毫米、微米到納米量級(jí)。MEMS是隨著半導(dǎo)體集成電路微細(xì)加工技術(shù)和超精密機(jī)械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的一個(gè)新的多學(xué)科交叉的高，將對(duì)未來人類生活產(chǎn)生革命性影響的高新技術(shù)，提供許多新的信息獲取手段以及更高效的信息處理系統(tǒng)和智能化的執(zhí)行控制設(shè)備，涉及機(jī)械、電子、化學(xué)、物理、光學(xué)、生物、材料等多個(gè)學(xué)科。目前，...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。