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技術(shù)編號：11023610

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有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)能自發(fā)光，無視角障礙，低溫特征好，因此OLED顯示器已被認(rèn)為是繼液晶顯示器、等離子顯示器之后最具市場價值的新一代平板顯示器。OLED的制作過程大都采用以IT0(indium tin oxide)玻璃為基板，利用蒸鍍設(shè)備將多層薄膜相繼沉積在基板上而形成。OLED蒸鍍技術(shù)為利用一蒸發(fā)源，內(nèi)部充填OLED材料，在真空環(huán)境下蒸發(fā)源加熱使材料升華或氣化，透過金屬掩膜，蒸鍍于基板上。蒸鍍過程中蒸發(fā)源在下方，如圖1所示，金屬掩膜2上設(shè)置有以便于...
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