技術編號:11040364
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及多晶硅鑄錠領域,具體涉及一種多晶硅鑄錠工藝中用以測量硅料熔化速度和底部籽晶的剩余高度情況的測量石英棒。背景技術在多晶硅鑄錠工藝過程中,為了調試晶體生長工藝,改進晶體生長質量,需要掌握不同階段硅錠的生長速度信息,這些數據的獲得通常通過在爐體頂部插一根石英棒的方式來測量。近幾年來,光伏鑄錠領域發(fā)展起來的一種半熔高效鑄錠工藝,即在熔化階段控制底部籽晶合理的剩余高度,也是通常用一根石英棒來精確測量熔化速度和底部籽晶的剩余高度情況,確保底部籽晶不會被熔化掉,也要保證不會剩余過多,因此,操作至...
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