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      一種柔性壓力傳感器的制造方法與工藝技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:11051088

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      本實(shí)用新型屬于壓力傳感器技術(shù)領(lǐng)域,具體來講,涉及一種柔性壓力傳感器。背景技術(shù)柔性壓力傳感器是一種能將應(yīng)力轉(zhuǎn)變?yōu)殡妼W(xué)信號的柔性電子器件,其可廣泛應(yīng)用于柔性觸屏、人工智能、可穿戴電子、移動醫(yī)療等領(lǐng)域。根據(jù)信號轉(zhuǎn)換機(jī)理,壓力傳感器主要分為電阻式傳感器、電容式傳感器和壓電式傳感器。其中電阻式壓力傳感器的基本工作原理是將被測壓力的變化轉(zhuǎn)變?yōu)閭鞲衅鞯碾娮柚档淖兓?。電阻式壓力傳感器由于具有器件結(jié)構(gòu)簡單、電阻信號穩(wěn)定易測、較高的靈敏度等優(yōu)點(diǎn)備受關(guān)注。將電阻式壓力傳感器的電極陣列進(jìn)行微結(jié)構(gòu)化是提高傳感器靈敏度、可...
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