技術(shù)編號(hào)：11059922
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及具有對(duì)空氣吸引口及其周?chē)M(jìn)行清掃的功能的清潔頭及其清掃方法。背景技術(shù)在半導(dǎo)體晶片、液晶顯示器的玻璃板、薄膜等各種基板(以下僅稱為基板)的制造工序中，需要進(jìn)行將塵埃從基板表面除去的除塵。例如，在基板的水平搬送路徑上方配置清潔頭，通過(guò)清潔頭對(duì)被搬送的基板進(jìn)行除塵。在清潔頭的底面形成有空氣噴射口和空氣吸引口。空氣噴射口及空氣吸引口是在相對(duì)于基板搬送方向大致垂直的方向上長(zhǎng)的狹縫。清潔頭的空氣噴射口向被搬送的基板噴射清潔空氣而吹走塵埃，另外，空氣吸引口從基板將飛散的塵埃與周?chē)目諝庖黄鹞耄瑢?duì)基...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。