技術(shù)編號：11098307
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種具有微/納復(fù)合碳納米管陣列結(jié)構(gòu)的硅基微型脈動(dòng)熱管冷卻器，應(yīng)用于集成IC電子元器件的高效溫控冷卻技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)隨著微電子技術(shù)和大規(guī)模集成電路的迅速發(fā)展，微電子芯片的發(fā)熱強(qiáng)度越來越大，生成的熱量若無法及時(shí)排除，將嚴(yán)重影響微電子元件甚至整個(gè)系統(tǒng)的工作性能和使用壽命。因此，發(fā)展高效緊湊的微電子溫控技術(shù)，以解決芯片冷卻空間狹小、散熱困難等問題是當(dāng)前該領(lǐng)域發(fā)展所面臨的緊迫任務(wù)。在各種微電子器件散熱冷卻技術(shù)中，脈動(dòng)熱管因其結(jié)構(gòu)簡單、無需吸液芯以及獨(dú)特的散熱性能和良好的空間適應(yīng)性正日益受到關(guān)注...
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