技術(shù)編號：11099858
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種宏微結(jié)合面形的測量裝置及其測量方法，屬于光學(xué)精密測量技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)隨著現(xiàn)代超精密加工技術(shù)與計算機科學(xué)的發(fā)展，光學(xué)元件面形精度越來越高，結(jié)構(gòu)特征越來越豐富。為了滿足現(xiàn)代光學(xué)系統(tǒng)的性能要求，具有宏微結(jié)合面形特點的光學(xué)元件被廣泛應(yīng)用到各個領(lǐng)域當中，其特點是在宏觀尺寸元件上復(fù)合微觀特殊結(jié)構(gòu)，因此這類光學(xué)元件的面形測量成為了亟待解決的問題。目前機械觸針式輪廓儀和光學(xué)干涉測量儀是解決宏觀光學(xué)元件的重要手段，但是其并不能同時解決微觀結(jié)構(gòu)測量問題；而解決微觀結(jié)構(gòu)的測量方法如原子力顯微鏡、光學(xué)顯...
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