技術(shù)編號：11101675
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及探測技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種X射線探測器及其制造方法。背景技術(shù)X射線探測器(英文：X-raydetector)是一種用于將肉眼看不到的X射線(英文：X-ray)轉(zhuǎn)換為電信號的裝置。X射線探測器通常包括基板11以及設(shè)置在基板11上的多個探測單元以及設(shè)置在多個探測單元上的閃爍層14，每個探測單元包括薄膜晶體管(英文：ThinFilmTransistor；簡稱：TFT)12和感光結(jié)構(gòu)13，感光結(jié)構(gòu)13設(shè)置在TFT12的漏極上，且與TFT12電連接，閃爍層14用于將X射線轉(zhuǎn)化為可見光，感光結(jié)構(gòu)1...
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