技術(shù)編號(hào)：11102297
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于光纖傳感技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種通過梳狀柵格實(shí)現(xiàn)外界振動(dòng)信號(hào)對(duì)傳感器光強(qiáng)信號(hào)編碼，并具備無線信號(hào)傳輸功能的MOEMS無線振動(dòng)傳感器及其工作方法。背景技術(shù)微光機(jī)電系統(tǒng)(MOEMS)是近幾年在微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)中發(fā)展起來的一支極具活力的新技術(shù)系統(tǒng)，它是由微光學(xué)、微電子和微機(jī)械相結(jié)合而產(chǎn)生的一種新型的微光學(xué)結(jié)構(gòu)系統(tǒng)。MOEMS因其可批量生產(chǎn)、體積小、精度高等優(yōu)點(diǎn)，而廣泛應(yīng)用于光通訊及圖像處理方面，其在工程檢測(cè)傳感領(lǐng)域的專利報(bào)道相對(duì)較少。中國(guó)專利CN102483427A給出一種CMOSMOE...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。