技術(shù)編號：11107932
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光學(xué)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體來說，涉及一種光學(xué)元件表面疵病的檢測裝置及方法。背景技術(shù)隨著科技的發(fā)展，對光學(xué)元件表面的質(zhì)量要求越來越高。其表面缺陷、劃痕、碎邊等各種疵病的存在將造成不同程度散射，由于散射將大大消耗光能量同時也可能引入嚴(yán)重的衍射而造成光學(xué)元件的新的損傷破壞薄膜層，所以往往由于一個或幾個較大的疵病而會嚴(yán)重影響整個系統(tǒng)的運行。因此其檢測方法不能用檢測表面粗糙度的方法采用抽樣取平均之類的統(tǒng)計方法，而是必須查找元件有效孔徑內(nèi)的所有可能疵病。最基本及常用的是目視法，是指在暗場照明的情況下用...
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