技術編號：11119074
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及半導體器件加工設備，尤其涉及一種太陽能電池片激光加工設備。背景技術隨著光伏太陽能電池片生產(chǎn)效率的要求越來越高的同時，行業(yè)內對如何提高太陽能電池片的轉換效率也投入了大量研究，傳統(tǒng)的太陽能電池片激光加工設備采用化學刻蝕工藝，自動化程度低、污染環(huán)境、后期使用成本高，加工過程中投入的人力物力較大，生產(chǎn)效率較低，無法滿足市場需求，高效的激光加工工藝不僅可以提高太陽能電池片轉換效率，并且降低了設備整體成本、減少了對環(huán)境的污染。目前代表了行業(yè)發(fā)展方向的新型高效太陽能電池背鈍化工藝的高精度激光加工設備...
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