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      一種帶除塵結(jié)構(gòu)的陶瓷拋光設(shè)備的制造方法與工藝技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):11119584

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      :本發(fā)明涉及的一種帶除塵結(jié)構(gòu)的陶瓷拋光設(shè)備,屬于半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域。背景技術(shù):拋光機(jī)是一種電動(dòng)工具,拋光機(jī)由底座、拋盤(pán)、拋光織物、拋光罩及蓋等基本元件組成。電動(dòng)機(jī)固定在底座上,固定拋光盤(pán)用的錐套通過(guò)螺釘與電動(dòng)機(jī)軸相連。拋光織物通過(guò)套圈緊固在拋光盤(pán)上,電動(dòng)機(jī)通過(guò)底座上的開(kāi)關(guān)接通電源起動(dòng)后,便可用手對(duì)試樣施加壓力在轉(zhuǎn)動(dòng)的拋光盤(pán)上進(jìn)行拋光。陶瓷拋光機(jī)是精密拋光設(shè)備,將被拋光材料放置于拋光盤(pán)上,拋光盤(pán)逆時(shí)鐘轉(zhuǎn)動(dòng),工件自轉(zhuǎn),采用重力加壓的方式對(duì)工件施壓,工件與拋光盤(pán)作相對(duì)運(yùn)轉(zhuǎn)磨擦,來(lái)達(dá)到拋光目的。一般的陶瓷拋...
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