技術(shù)編號(hào):11120460
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光學(xué)薄膜領(lǐng)域,尤其是一種梯度折射率薄膜的制備方法及裝置。背景技術(shù)在傳統(tǒng)的光學(xué)系統(tǒng)中,各種光學(xué)元件所用的材料都是均質(zhì)的,每個(gè)元件內(nèi)部各處的折射率為常數(shù)。梯度折射率材料則是一種非均質(zhì)材料,它的組分和結(jié)構(gòu)在材料內(nèi)部按一定規(guī)律連續(xù)變化,從而使折射率也相應(yīng)地呈連續(xù)變化,可以提高光譜透射率、減少反射光。制備梯度變化的折射率薄膜,一般需要幾種不同折射率的膜層材料疊加堆積得到。目前制備方法主要有三大類:一是多源共蒸法;二是反應(yīng)沉積法;三是沉積參數(shù)(如沉積溫度,基底溫度,氣壓)的變化來(lái)實(shí)現(xiàn)折射率的變化,...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。