技術(shù)編號(hào)：11128672
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種采用溫控形狀記憶合金驅(qū)動(dòng)的高精度有閥微泵，屬于微泵技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)高精度微泵廣泛應(yīng)用于化學(xué)分析與檢測(cè)、生物工程、臨床醫(yī)學(xué)、集成電路芯片、微型零部件以及微型化生產(chǎn)系統(tǒng)等領(lǐng)域。該領(lǐng)域?qū)ξ⒈玫男阅芤笫琼憫?yīng)速度快、單向截止性能好、密封性好、輸出壓力大。因此如何提高微泵的響應(yīng)速度、輸出壓力、控制精度等已成為微泵的一個(gè)重要的發(fā)展方向。目前國內(nèi)外的高精度微泵的種類多，主要的微泵有磁控形狀記憶合金驅(qū)動(dòng)的高精度微泵和壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的高精度微泵、多級(jí)懸臂式高效微泵等。磁控形狀記憶合金驅(qū)動(dòng)的高精度微泵...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。