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      制造集成電路器件的方法與制造工藝技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:11136639

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      本發(fā)明構(gòu)思的示例實施方式涉及集成電路器件以及制造該集成電路器件的方法,和/或更具體地,涉及包括鰭形有源區(qū)的集成電路器件以及制造該集成電路器件的方法。背景技術(shù)隨著電子技術(shù)發(fā)展,半導(dǎo)體器件的按比例縮小一直在快速進行。近年來,因為半導(dǎo)體器件需要操作的準確以及高速運行,所以針對組成半導(dǎo)體器件的晶體管的結(jié)構(gòu)優(yōu)化正在進行各種研究。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明構(gòu)思的示例實施方式提供一種集成電路器件,該集成電路器件包括具有優(yōu)化形狀的鰭形有源區(qū)。本發(fā)明構(gòu)思的示例實施方式還提供一種制造集成電路器件的方法,該集成電路器件包括具有優(yōu)...
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