技術編號:11136735
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及半導體技術領域,特別涉及一種氮化鎵基LED外延片及其生長方法。背景技術發(fā)光二極管(英文:LightEmittingDiode,簡稱LED)的核心部分是由p型半導體和n型半導體組成的晶片,在p型半導體和n型半導體之間有一個過渡層,稱為pn結(jié)。在pn結(jié)中,p型半導體注入的空穴與n型半導體注入的電子復合,多余的能量以光的形式釋放出來,從而把電能直接轉(zhuǎn)換為光能。以氮化鎵為代表的Ⅲ族氮化物是直接帶隙的寬禁帶半導體材料,具有電子飄移飽和速度高,熱導率好、強化學鍵、耐高溫以及抗腐蝕等優(yōu)良性能,廣泛應...
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