技術(shù)編號：11147089
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種硒化鋅合成裝置，特別涉及一種高效節(jié)能硒化鋅氣相沉積爐。背景技術(shù)硒化鋅(ZnSe)材料是一種黃色透明的多晶材料，結(jié)晶顆粒大小約為70μm，透光范圍0.5-15μm。由化學(xué)氣相沉積(CVD)方法合成的硒化鋅基本不存在雜質(zhì)吸收，散射損失極低。由于對10.6μm波長光的吸收很小，因此成為制作高功率CO2激光器系統(tǒng)中光學(xué)器件的首選材料。此外在其整個(gè)透光波段內(nèi)，也是在不同光學(xué)系統(tǒng)中所普遍使用的材料?；瘜W(xué)氣相沉積(CVD)是利用化學(xué)氣相沉積原理，將參與化學(xué)反應(yīng)的物質(zhì)加熱到一定工藝溫度，用惰性氣體...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。