技術(shù)編號(hào)：11150678
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及真空設(shè)備及承壓設(shè)備，氣體輸送系統(tǒng)中的控制部件，具體為一種可抽真空的自緊密封閥門(mén)，適用于高純氣體注入場(chǎng)合。背景技術(shù)真空閥門(mén)是真空系統(tǒng)中必不可少的氣體控制部件，要求有較高的氣密性，不污染工作介質(zhì)，并且對(duì)氣流的阻力要盡量小；高壓閥門(mén)則要求能承受額定的工作壓力，并避免各種形式的泄漏。有些場(chǎng)合需要先對(duì)容器或管道抽真空而后注入高純氣體，這就需要閥門(mén)同時(shí)具有真空密封及高壓密封的功能。目前市場(chǎng)上已經(jīng)有較多系列化的既有真空密封又有高壓密封功能的閥門(mén)，這些閥門(mén)尺寸雖然較小但流導(dǎo)也很小，對(duì)抽真空很不利，或者...
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