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      顯示不均勻缺陷顯現(xiàn)裝置、方法和檢測(cè)設(shè)備與制造工藝技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):11152683

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      本發(fā)明涉及顯示不均勻缺陷顯現(xiàn)技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種顯示不均勻缺陷顯現(xiàn)裝置、方法和檢測(cè)設(shè)備。背景技術(shù)MM(宏觀(guān)微觀(guān))測(cè)試設(shè)備是TFT-LCD面板領(lǐng)域在宏觀(guān)檢測(cè)段主要設(shè)備。隨著面板尺寸的大型化,高分辨率,輕薄化,和低功耗的發(fā)展,玻璃基板越來(lái)越薄,其中像素也越來(lái)越小,在工藝制程中出現(xiàn)顯示不均勻缺陷幾率也逐漸增大,因此顯示不均勻缺陷顯現(xiàn)就顯得越發(fā)重要,其可以攔截不良,同時(shí)提高產(chǎn)品良率,但是現(xiàn)有的顯示不均勻缺陷顯現(xiàn)裝置中存在以下問(wèn)題:第一:雖然能檢測(cè)出Mura(顯示不均勻)缺陷,但無(wú)法準(zhǔn)確的定位和描述形貌...
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