技術(shù)編號:11152686
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及液晶顯示面板領(lǐng)域,尤其涉及一種薄膜圖形化方法。背景技術(shù)在液晶顯示面板制造過程中,經(jīng)常需要形成具有某種圖形的薄膜,這個過程稱為薄膜的圖形化?,F(xiàn)有的薄膜圖形化方法有很多種,其中,利用金屬掩膜板直接在基板上沉積形成圖形化薄膜的方法獲得了廣泛的應用,該方法包括:首先在基板上的非薄膜堆積區(qū)域上貼合金屬掩膜板,然后進行薄膜沉積,最后去除金屬掩膜板,形成圖形化薄膜。然而,由于金屬掩膜板與基板之間不可避免存在間隙,而薄膜沉積采用氣體沉積時容易在非薄膜堆積區(qū)域上形成薄膜,從而影響后續(xù)制程,并且金屬掩膜板...
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