技術(shù)編號：11152910
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤指一種掩膜版、曝光方法及裝置。背景技術(shù)遮光擋板(Maskingblade)是曝光機一個重要的硬件，其作用是遮擋掩膜版(mask)上不需要的區(qū)域，防止在曝光基板上的當前圖形時，將附近圖形區(qū)域的光刻膠曝掉。但遮光擋板是通過機械驅(qū)動的，其驅(qū)動位置受機械因素影響，在生產(chǎn)中不可避免的出現(xiàn)偏差。當偏差超出允許范圍時，會導致附近圖形受到影響。這是生產(chǎn)中不可接受的異常。發(fā)明內(nèi)容為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明實施例提供了一種掩膜版、曝光方法及裝置，能夠檢測遮光擋板的異常。為了達到本發(fā)明目的...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。