技術(shù)編號：11153589
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。：本發(fā)明涉及的一種陶瓷電容式壓力控制系統(tǒng)，屬于半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域。背景技術(shù)：壓力傳感器是現(xiàn)代測量和自動化系統(tǒng)的重要技術(shù)之一，其具有體積小、重量輕、靈敏度高、穩(wěn)定可靠、便于集成化的優(yōu)點，可廣泛應(yīng)用于壓力、高度、加速度、流速、壓強的測量與控制。在眾多壓力傳感器材料中，陶瓷是一種公認(rèn)的高彈性、抗腐蝕、抗磨損、抗沖擊和振動的材料。陶瓷電容式壓力傳感器的熱穩(wěn)定特性可以使它的工作溫度范圍高達(dá)-40～135°C，而且具有測量的高精度、高穩(wěn)定性。發(fā)明內(nèi)容：本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是：提供一種可以準(zhǔn)確的檢測并控制密閉...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。