技術(shù)編號(hào)：11160663
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及感光性樹脂組合物及其固化物。更具體地，本發(fā)明涉及良好的側(cè)壁形狀和分辨率優(yōu)異的影像形成性、固化物的殘留應(yīng)力小、防止基板的翹曲，濕熱試驗(yàn)后與基板的緊密貼合性優(yōu)異的感光性樹脂組合物及其固化物。具有這樣的優(yōu)異特性的本發(fā)明的感光性樹脂組合物及其固化物在MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))部件、μ-TAS(微小全分析系統(tǒng))部件、微型反應(yīng)器部件、電容器、電感器等電子部件的絕緣層、LIGA部件、用于微小射出成型和熱軋花的模具和印花、用于微細(xì)印刷用途的屏幕或模版、MEMS傳感器/半導(dǎo)體設(shè)備/頻率設(shè)備的封裝部件、生...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。