技術(shù)編號：11160732
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明是涉及質(zhì)量流量控制裝置的發(fā)明，涉及基于流體的壓力或者差壓的測量值對質(zhì)量流量進行控制的質(zhì)量流量控制裝置，但不限于此。背景技術(shù)質(zhì)量流量控制裝置(質(zhì)量流量控制器)是至少包括測量流體的流量的流量計、控制流體的流量的流量控制閥、對流量計和流量控制閥進行控制的控制電路及其他零部件的控制設(shè)備。質(zhì)量流量控制裝置出于例如在半導(dǎo)體的制造工藝中對向腔室內(nèi)供給的氣體的質(zhì)量流量進行控制等目的而被廣泛使用。質(zhì)量流量控制裝置中所使用的流量計具有各種各樣的形式。對于出于控制半導(dǎo)體的制造工藝中的氣體的質(zhì)量流量的目的而使用的...
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