技術(shù)編號：11162343
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及超聲波傳感器。背景技術(shù)以往，已知一種呈陣列狀地配置有具有開口部的半導(dǎo)體基板、封閉開口部并形成在半導(dǎo)體基板的表面的絕緣膜層上的兩層電極、以及夾在兩層電極之間的PZT陶瓷薄膜層的超聲波傳感器(參照例如專利文獻(xiàn)1)。專利文獻(xiàn)1：日本特開2010-164331號公報。在這樣的超聲波傳感器中，存在以下問題：若想要控制發(fā)送靈敏度、接收靈敏度，則必須要變更形成壓電體層的壓電材料。即，若想要準(zhǔn)備接收專用的元件和發(fā)送專用的元件，則必須要排列壓電材料不同的元件，非常困難。并且，在統(tǒng)一了壓電材料的情況下，雖...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。