技術(shù)編號(hào)：11172374
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種銦氧化膜及鉬膜用蝕刻組合物，更詳細(xì)而言，涉及一種對于銦氧化膜及鉬系金屬膜的蝕刻性能優(yōu)異，能夠?qū)τ谙虏拷饘俚膿p傷最小化，且在蝕刻多層膜時(shí)能夠抑制上部尖端產(chǎn)生的蝕刻組合物。背景技術(shù)一般而言，顯示面板作為用于驅(qū)動(dòng)像素的開關(guān)元件，包括形成有薄膜晶體管的顯示基板。上述顯示基板包括多種金屬圖案，上述金屬圖案主要通過光刻(photolithography)方式來形成。上述光刻方式是如下工序：通過在形成于基板上的作為蝕刻對象的金屬膜上形成光致抗蝕劑膜，將上述光致抗蝕劑膜曝光及顯影而形成光致抗蝕劑...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。