技術編號：11172940
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及半導體制造技術領域，尤其涉及一種電感耦合等離子反應器的鐵芯結構。背景技術如圖1a所示，傳統(tǒng)電感耦合等離子處理裝置包括一個反應腔100，反應腔內包括一個基座20，基座內包括下電極?；戏桨o電夾盤，待處理的基片設置在靜電夾盤上。一個具有較低頻率(如2Mhz～400Khz)的偏置射頻電源35通過一個匹配器連接到基座20內的下電極?；鈧戎車ㄅ艢馔ǖ酪跃S持等離子處理裝置內的低氣壓。反應腔頂部還包括一個絕緣材料窗110，絕緣材料窗上方包括電感線圈140，電感線圈在絕緣材料窗上方至少環(huán)...
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