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      光電編碼器的制造方法與工藝技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):11175242

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      本發(fā)明涉及一種位置檢測(cè)設(shè)備,尤其涉及一種光電編碼器。背景技術(shù)光電編碼器已被廣泛用作為精密長(zhǎng)度測(cè)量裝置和精密位置檢測(cè)器(例如,JP5553669B)。光電編碼器包括標(biāo)尺和被設(shè)置成可在長(zhǎng)度測(cè)量方向上沿標(biāo)尺相對(duì)移動(dòng)的檢測(cè)頭部。在標(biāo)尺上設(shè)置明暗圖案。圖1示出標(biāo)尺20。如圖1所示,通過(guò)在玻璃基板21上配置預(yù)定圖案化的鉻膜22來(lái)形成標(biāo)尺圖案。光電編碼器具有反射型和透過(guò)型兩種類型。在反射型光電編碼器中,光源和光接收部被設(shè)置在標(biāo)尺的同一側(cè),并且光接收部接收標(biāo)尺所反射的光的明暗圖案。在透過(guò)型光電編碼器中,光源和光...
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