技術(shù)編號(hào)：11179247
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于使半導(dǎo)體晶圓、光掩膜用玻璃基板、液晶顯示用玻璃基板、等離子顯示用玻璃基板、FED(FieldEmissionDisplay：場(chǎng)發(fā)射顯示器)用基板、光盤用基板、磁盤用基板、光磁盤用基板等各種基板(以下，記載為“基板”)干燥的基板處理技術(shù)。背景技術(shù)在半導(dǎo)體裝置或液晶顯示裝置等的電子部件的制造工序中，在用液體處理了基板的表面之后，一般要實(shí)施從基板表面除去液體來(lái)使基板表面干燥的處理。特別是，有一種主要以防止液體的表面張力破壞在基板表面形成的精細(xì)圖案為目的，事先在圖案之間填充升華性物質(zhì)，在使...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。