技術(shù)編號：11179249
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種使用干燥液來使利用處理液進行處理后的基板干燥的技術(shù)。背景技術(shù)已知如下一種技術(shù)：將藥液、漂洗液等處理液依次切換地供給到旋轉(zhuǎn)的基板(例如半導(dǎo)體晶圓(以下稱為晶圓))的表面，來進行基板的處理。當(dāng)使用各種處理液進行的處理完成時，對旋轉(zhuǎn)的基板供給IPA(IsopropylAlcohol：高純度異丙醇)等揮發(fā)性高的干燥液，在將殘留于基板表面的處理液置換為干燥液之后，將干燥液排出到基板外，由此進行基板的干燥。例如，專利文獻1中記載了如下技術(shù)：通過使向旋轉(zhuǎn)的基板供給的第二流體(相當(dāng)于上述的干燥液)...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。