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      一種底柵自對(duì)準(zhǔn)結(jié)構(gòu)金屬氧化物薄膜晶體管及其制備方法與流程技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):11203153

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      本發(fā)明涉及顯示領(lǐng)域,具體涉及一種底柵自對(duì)準(zhǔn)結(jié)構(gòu)金屬氧化物薄膜晶體管及其制備方法。背景技術(shù)金屬氧化物薄膜晶體管已成為顯示技術(shù)中一種新型的核心部件,已被廣泛應(yīng)用于有機(jī)電致發(fā)光顯示器和液晶顯示器等平板顯示領(lǐng)域中。目前國(guó)內(nèi)外關(guān)注的平板顯示領(lǐng)域的重點(diǎn)是提高顯示質(zhì)量,實(shí)現(xiàn)其向大面積、高分辨率、薄型化、柔性可卷曲化。因此,薄膜晶體管技術(shù)是決定平板顯示能否實(shí)現(xiàn)大尺寸、高分辨率的關(guān)鍵。與傳統(tǒng)的硅基薄膜晶體管相比,金屬氧化物薄膜晶體管具有寬禁帶、高均勻性、高穩(wěn)定性、高場(chǎng)效應(yīng)遷移率等優(yōu)點(diǎn),而且金屬氧化物薄膜晶體管的生...
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