技術(shù)編號(hào):11214572
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于光學(xué)測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種基于MEMS微振鏡的微型光譜儀、氣體傳感器及光譜檢測(cè)方法。背景技術(shù)光譜儀已廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域,它通過(guò)光譜信號(hào)并分析其物質(zhì)成分和含量。傳統(tǒng)的分光方式主要有旋轉(zhuǎn)光柵、棱鏡和濾光片轉(zhuǎn)輪的時(shí)間分解方法,但這涉及到機(jī)械傳動(dòng)裝置,速度慢,結(jié)構(gòu)復(fù)雜;還有用光柵棱鏡和分束濾光片的空間分解方法,相應(yīng)的儀器也要占據(jù)較大的空間。目前,大多數(shù)光譜儀還都是大型儀器,只能在實(shí)驗(yàn)室和工廠等相對(duì)固定的場(chǎng)所使用,但由于近年來(lái)人們對(duì)食品質(zhì)量要求越來(lái)越高,人們對(duì)小型化、便攜式的光譜儀需求越來(lái)...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。