技術(shù)編號(hào)：11222514
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及MEMS器件及其制造領(lǐng)域，特別涉及一種MEMS器件中的拱形結(jié)構(gòu)及其制造方法、MEMS器件。背景技術(shù)MEMS(微機(jī)電系統(tǒng)，Micro-Electro-MechanicalSystem)是在半導(dǎo)體制造技術(shù)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的電子機(jī)械器件，是集微型傳感器、執(zhí)行器以及信號(hào)處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體的微型機(jī)電系統(tǒng)。拱形結(jié)構(gòu)又叫推力結(jié)構(gòu)，是MEMS器件中的一種常用結(jié)構(gòu)，廣泛應(yīng)用于傳感器、微型壓電驅(qū)動(dòng)器、薄膜體聲波...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。