技術(shù)編號：11235711
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于光電探測技術(shù)領(lǐng)域，涉及光電探測器件結(jié)構(gòu)，尤其涉及一種以氟化氮摻雜石墨烯為感光材料，氮摻雜石墨烯/氟化氮摻雜石墨烯/氮摻雜石墨烯(MSM)結(jié)構(gòu)的紫外雪崩光電探測器(APD)及制備方法。背景技術(shù)氮摻雜石墨烯是由單層sp2雜化碳原子構(gòu)成的蜂窩狀二維平面晶體薄膜，具有優(yōu)異的力、熱、光、電等性能。與普通金屬不同，氮摻雜石墨烯是一種具有透明和柔性的新型二維導(dǎo)電材料。氮摻雜石墨烯和半導(dǎo)體接觸可以形成肖特基結(jié)，制備工藝簡單，在光電探測領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。氟化氮摻雜石墨烯是氮摻雜石墨烯的衍生物，利用氟化氙(...
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