技術編號：11241520
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及顯示制程領域，尤其涉及一種基板清洗設備。背景技術隨著顯示技術的發(fā)展，液晶顯示器(LiquidCrystalDisplay，LCD)等平面顯示裝置因具有高畫質(zhì)、省電、機身薄及應用范圍廣等優(yōu)點，而被廣泛的應用于手機、電視、個人數(shù)字助理、數(shù)字相機、筆記本電腦、臺式計算機等各種消費性電子產(chǎn)品，成為顯示裝置中的主流。通常液晶顯示面板由彩膜基板(ColorFilter，CF)、薄膜晶體管基板(ThinFilmTransistor，TFT)、夾于彩膜基板與薄膜晶體管基板之間的液晶(LC，Liquid...
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