技術(shù)編號(hào)：11249001
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光柵尺，具體涉及一種光柵尺的誤差補(bǔ)償系統(tǒng)及方法。背景技術(shù)在現(xiàn)代生產(chǎn)制造中，光柵尺已經(jīng)廣泛應(yīng)用在各種精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)中，在一些精度要求不高的機(jī)械加工中，如普通粗加工機(jī)床的工作過程，低精度的光柵尺就可以滿足要求；而現(xiàn)在，需要精密加工的器件越來越多，而且要求的精度也越來越高，就需要用到更多的高精度的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)，例如半導(dǎo)體加工、IC封裝等設(shè)備都需要高精度的光柵尺。目前使用的光柵線位移測(cè)量裝置包括標(biāo)尺光柵、掃描單元和信號(hào)處理單元，掃描單元和標(biāo)尺光柵分別固定于被測(cè)物體的可移動(dòng)部件和不可動(dòng)部件上，掃描...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。