技術(shù)編號：11249934
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光源裝置，特別是涉及具備多個LED元件的光源裝置。另外，本發(fā)明涉及包含這種光源裝置的曝光裝置。背景技術(shù)以往，在多種領(lǐng)域中利用了運用光的光處理技術(shù)。例如，在使用了光的細(xì)微加工中利用了曝光裝置。近年來，曝光技術(shù)開展于各種領(lǐng)域，在細(xì)微加工之中也被利用于相對較大的圖案的制作、三維的細(xì)微加工中。更具體而言，例如在LED的電極圖案的制作、以加速度傳感器為代表的MEMS(MicroElectroMechanicalSystems，微機電系統(tǒng))的制造工序等中利用了曝光技術(shù)。在這些光處理技術(shù)中，作為光源...
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