技術編號：11252578
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本申請涉及一種干蝕刻設備及干蝕刻設備的電極。背景技術隨著科技進步，具有省電、無幅射、體積小、低耗電量、平面直角、高分辨率、畫質穩(wěn)定等多項優(yōu)勢的液晶顯示器，尤其是現(xiàn)今各式信息產(chǎn)品如：手機、筆記本電腦、數(shù)字相機、PDA、液晶屏幕等產(chǎn)品越來越普及，也使得液晶顯示器(LiquidCrystalDisplay，LCD)的需求量大大提升。因而推動了液晶顯示面板行業(yè)的快速發(fā)展，面板的產(chǎn)量不斷提升。蝕刻工藝是制造液晶顯示面板的陣列基板過程中的一個重要步驟。蝕刻工藝根據(jù)蝕刻劑的物理狀態(tài)分為干蝕刻工藝和濕蝕刻工藝，...
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