技術編號：11252659
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。實施方式涉及集成電路器件以及制造該集成電路器件的方法，更具體而言，涉及包括鰭型場效應晶體管的集成電路器件以及制造該集成電路器件的方法。背景技術隨著電子技術的發(fā)展，半導體器件最近已經(jīng)按比例縮小了尺寸。因為半導體器件既需要快的操作速度又需要操作準確度，所以正在各種方面進行對于半導體器件的晶體管的結(jié)構優(yōu)化的研究。具體地，隨著晶體管尺寸的減小，需要實現(xiàn)確保鰭形有源區(qū)的頂部分的目標高度和寬度的集成電路(IC)器件的技術開發(fā)，該鰭形有源區(qū)提供晶體管的溝道區(qū)并且具有穩(wěn)定的結(jié)構以防止相鄰導電區(qū)域之間的短路。發(fā)明...
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