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      一種閃存單元器件及閃存的制造方法與工藝技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):11252662

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      本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域,尤其涉及一種閃存單元器件及閃存。背景技術(shù)閃存以其低成本、低功耗、存取速度快等性能優(yōu)勢(shì),已經(jīng)在非易失存儲(chǔ)器領(lǐng)域占據(jù)主導(dǎo)地位。隨著科技的發(fā)展,數(shù)據(jù)存儲(chǔ)介質(zhì)應(yīng)用也由一些傳統(tǒng)的非易失存儲(chǔ)器專向閃存型存儲(chǔ)器,以閃存為主要存儲(chǔ)介質(zhì)的大容量固態(tài)存儲(chǔ)設(shè)備已經(jīng)成為當(dāng)今數(shù)據(jù)存儲(chǔ)的主流方案之一?,F(xiàn)有閃存單元為一體的多晶硅浮柵結(jié)構(gòu),通過閃存單元中的控制柵(ControlGate,CG)加高電壓,使載流子在電場(chǎng)的加速下具有一定能量,利用量子遂穿效應(yīng)越過氧化層,并保存在浮柵中,浮柵保證數(shù)據(jù)的正常存取和...
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