技術(shù)編號:11252665
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件、具有半導(dǎo)體器件的顯示裝置和上述裝置的制造方法。背景技術(shù)作為顯示半導(dǎo)體特性的代表的例能夠列舉硅(硅)、鍺等的第14族元素。特別是硅因容易入手、容易加工、優(yōu)良的半導(dǎo)體特性、容易控制特性等,在幾乎所有的半導(dǎo)體器件中使用,被定位于支撐電子工業(yè)的基礎(chǔ)的材料。近年來,氧化物、特別是銦、鎵等的13族元素的氧化物顯現(xiàn)出半導(dǎo)體特性,以此為契機(jī)進(jìn)行努力的研究開發(fā)。作為顯示半導(dǎo)體特性的代表的氧化物(以下,氧化物半導(dǎo)體)已知銦―鎵氧化物(IGO)、銦―鎵―鋅氧化物(IGZO)等。最近的努力的研究開...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。