技術(shù)編號：11252751
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于顯示器件技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種非晶氧化物薄膜晶體管及其制備方法。背景技術(shù)近年來，非晶氧化物薄膜晶體管(TFT)在以有源矩陣驅(qū)動液晶顯示(AMLCD)、有源矩陣有機發(fā)光二極管(AMOLED)和電子紙(E-paper)為代表的信息顯示中起重要作用。非晶氧化物TFT具有較高的遷移率，低制備溫度，高均勻性等優(yōu)點可滿足當前顯示技術(shù)朝大尺寸、高分辨率和柔性等方向發(fā)展的要求。對于非晶氧化物TFT通常需要經(jīng)過退火處理來改善器件的電學(xué)性能。這是因為退火處理不僅可以降低有源層內(nèi)部的缺陷及有源層/柵絕緣層界...
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